真空旋转涂膜机

真空旋转涂膜机

1、引言

主要应用于大专院校、科研院所的实验室中的薄膜形成。本机利用高速旋转使粘滞系数较大的胶体、溶液等材料均匀地涂覆在样件表面

2、主要技术指标

电源：AC220V 50Hz

功率：200W

旋转盘：Ø200mm

转速：500rpm-6000rpm

时间：1s-60s

真空泵流速：>60L/min

尺寸：500mm×400mm×400mm

重量：30kg

我公司专业生产销售：洛式硬度计，维式硬度计，布氏硬度计，显微维氏硬度计，便携式硬度计，磁力式洛式硬度计，里氏硬度计，超声波硬度计，金相切割机，全自动金相试样切割机，金相磨抛机，金相预磨机，金相抛光机，全自动金相试样磨抛机，手动金相试样镶嵌机，全自动金相镶嵌机。金相抛光剂，金相抛光粉，金相砂纸，金相抛光布，金相切割片，冷镶嵌树脂，金相镶嵌粉，导电镶嵌粉，透明镶嵌粉，倒置金相显微镜，正置金相显微镜，进口金相显微镜，体视显微镜，视频显微镜，生物显微镜，荧光显微镜，手动影像测量仪，全自动影像测量仪，一键闪测仪，测量投影仪。粗糙度仪，轮廓仪，圆柱度仪

一、设备定义与工作原理

1. 基本定义
   真空旋转涂膜机是一种在真空或惰性气体环境中，通过旋转基材实现均匀涂层的设备。其核心功能是解决常规涂膜无法处理的材料氧化、挥发或均匀性问题

2. 工作原理

• 真空吸附固定：样品通过真空吸盘固定在旋转平台上，避免偏心震动

• 分段程序控制：设备支持多段转速调节（通常6-16段程序），每段可独立设置转速（500-20,000rpm）、加速率（100-6,000rpm/s）及时间（0-999s），实现从低速注胶到高速匀胶的过渡

• 溅射涂覆：在真空环境下，靶材材料被溅射到旋转基材表面，形成均匀薄膜

二、核心结构与技术特点

1. 关键组件
   | 组件 | 功能说明 |
   |------------------|----------------------------------------------------------------------------|
   | 真空腔体 | 聚丙烯或聚四氟乙烯材质，耐强酸/强碱腐蚀（如VTC-100PA型号）
   | 直流无刷电机 | 提供无级调速，噪音低、启停平稳，确保涂层厚度一致性
   | 无油真空泵 | 避免油污污染，抽气流量≥60L/min，真空度达-0.08MPa或1Torr
   | 多规格吸盘 | 适配φ19mm至φ203.5mm样品，支持快速更换

2. 智能控制与安全设计

• 触摸屏/液晶控制：支持中英文界面，可存储12-16组程序（如VTC-100PAH）

• 开盖保护：运行中开盖自动减速停机，防止意外

• 惰性气体兼容：可在Ar、N₂等气氛中操作，保护敏感材料

三、核心应用领域

1. 半导体与光学器件

• 晶圆光刻胶涂覆、光盘表面镀膜（如VTC-200PV型号）

• 防止氧化材料（如钙钛矿）的薄膜制备

2. 材料研究与特殊场景

• 强酸/碱溶液涂膜（如沥青混合料测试）

• 高温涂膜需求：可选配加热功能（RT-200℃）

3. 科研与质量控制

• 高校及研究所的薄膜生成实验（如VTC-100系列）

• 工业领域的小批量生产质量控制

四、选型要点参考

| 参数 | 典型范围 | 选型建议 |
|------------------|--------------------------|-------------------------------------------|
| 转速范围 | 500-20,000rpm | 高精度实验选＞10,000rpm型号（如VTC-100PAH）
| 程序段数 | 6-16段 | 复杂工艺需多段控制
| 真空度 | -0.08MPa至1Torr | 高挥发材料需更高真空
| 耐腐蚀性 | 聚丙烯/聚四氟乙烯腔体 | 强酸/碱环境必选|

五、典型型号对比

| 型号 | 转速(rpm) | 程序段数 | 特殊功能 | 适用场景 |
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| VTC-100PA | 500-10,000 | 6段×12组 | 耐强酸/碱腔体 | 常规实验室涂膜
| VTC-200PV | 500-6,000 | 6段×12组 | 真空/惰性气体双模式 | 易氧化材料
| VTC-100PAH | 1,500-20,000| 16段 | 7寸触控屏，高温选项（RT-200℃）| 科研